树脂

1. 表面强度与耐用性

模具必须能够形成纳米级精确图案，并在重复转移过程中保持机械性能不退化。
在压力和应力下，模具需具备最小的变形或损坏能力。

2. 优异的透明度

在紫外固化过程中，紫外线 (UV) 光需要透过模具以固化抗蚀剂，因此光学透明性至关重要。
因此，我们的产品保证高紫外透过率和低紫外吸收率。

3. 低表面能

防止抗蚀剂粘附在模具表面是确保图案干净释放的核心要求。
模具表面可通过涂覆含氟化合物来提高释放性能，但通常情况下，模具本身就能实现图案释放，并且在多次使用后仍需保持优异的释放性能。

4. 高分辨率图案能力

模具必须能够实现纳米级精确结构。
在制造过程中，模具需展现卓越的精度，以支持高分辨率图案。
关于模具制造过程中的体积收缩率，固化后模具的收缩率低于5%。