树脂

1. 表面能修饰

通常通过增加基板的亲水性或提供与抗蚀剂材料兼容的官能团来提高附着力。

2. 化学兼容性

与基板（如硅、玻璃、聚合物）和压印抗蚀剂兼容。

3. 薄膜形成

能形成均匀的超薄涂层 ( < 10 nm )，以避免影响图案的精确性。

4. 热稳定性与化学稳定性

在紫外固化条件下，以及暴露于蚀刻气体或清洗溶剂时保持稳定。

5. 易于涂覆

与标准涂覆技术（如旋涂、喷涂）兼容。

6. 对光学性能的低影响

对于光学应用，底涂剂不应引入不必要的折射率变化或光吸收。

1. 低表面能

涂层必须显著降低表面能，以最小化抗蚀剂的粘附性。

2. 薄且均匀的涂层

脱模涂层必须是超薄的 ( < 5 nm)，以保留模具的高分辨率图案。

3. 耐久性和可重复使用性

能够承受多次紫外照射和机械接触，而不会退化或剥落。

4. 化学稳定性

抗蚀剂溶剂、紫外固化环境以及清洗工艺不会对涂层造成影响。

5. 易于涂覆

涂层应能够通过旋涂或喷涂方式轻松施加。