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Gigalane提供制造照明、BLU等多个领域使用的LED元件所需的优秀蚀刻设备，特别是主导LED用PSS蚀刻设备市场。
另外，为应对市场和技术的变化，在制造Mini LED、Micro LED、Nano LED所需的蚀刻设备市场发挥着先导作用。
Features
- 最适合大面积的 Dual ICP Source（13.56MHz）
为了确保大面积的均匀性，Dual ICP Source可调节Center和Edge的Currant，提供最佳的均匀性。形成高密度的等离子体，提供稳定的再现性和生产性。
- 可调节工程Gas的Center和Edge的Ratio
应用FRC（Flow ratio Controller）调节混搭工艺气体的Center和Edge之间的比率，有利于确保均匀性。
- 可提供Face Down Chamber
采用世界首个Face down工程，通过Particle控制效果、延长清洁周期等确保最高生产效率
- 提供多种TRAY
提供4英寸、6英寸、8英寸的Aluminum、SiC的Batch type TRAY。
提供多种Flatform
- MAXIS300L
- MAXIS800L
- MAXIS980L
- MAXIS480L
- MAXIS480LD
- MAXIS480LDG
- MAXIS480LDP
Process Data
| PSS |  |
|---|---|
| GaN |  |
| GaAs |  |
| AlGaInP |  |
